专注MEMS制造技术
高品质、高效率的代工服务
定制化MEMS加工解决方案
卓越的精密加工能力
业务范围
公司专注于MEMS制造技术,在MEMS制造领域积累了10年以上经验, 能够独立快速完成MEMS产品的工艺开发、工艺验证和小批量试制工作,已完成并投入量产的包括MEMS微振镜、谐振式压力传感器、超高精度静电计等,为国内众多高校、科研院所、企业提供先进的一体化MEMS制造解决方案。
工艺平台

光刻

配备HMDS烘箱、匀胶机、热板、MA6光刻机、显影槽等全套设备, 可以完成正反双面光刻,光刻线条可达到1um水准。

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薄膜

Kurt J.Lesker Company全自动磁控溅射台,可溅射多种金属薄膜。

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辅助设备

表面轮廓仪、探针台、金丝压焊机、扩膜机、UV解胶机。

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清洗

采用全自动清洗台,可进行标准清洗、金属腐蚀、二氧化硅腐蚀、 去胶、去离子水冲洗等操作。

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刻蚀

引进英国SPTS深硅刻蚀机,可完成硅基晶圆的干法刻蚀。

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公司优势

工艺齐全

公司拥有光刻、刻蚀、镀膜、清洗、腐蚀、氧化、键合、划片等全套MEMS工艺设备,可以为客户提供完整的加工服务。

设备一流

公司具有MEMS前沿制造技术工艺设备,如英国SPTS刻蚀机、德国SUSS光刻机、美国Kurt J.Lesker镀膜设备等, 可以为客户提供精度高、重复性好的加工服务。

质量可靠

公司聚集了一批优秀的MEMS工程师,对产品品质严格把控,保证了产品质量的可靠性。

高效快速

公司可以将4道光刻产品的试制周期缩短至2天,以快速响应机制帮助客户缩短产品研发和试制周期。

安全保障

公司制定了《信息安全管理》等保密制度,从根源上保障了客户产品和设计信息安全。

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